반도체 산업은 칩 제조에 중요한 자외선 레이저의 완충 가스로 반도체 등급 네온에 크게 의존합니다. 네온은 레이저 내에서보다 효과적으로 에너지를 전달하여 전반적인 효율성과 성능을 향상시킵니다.
전자 특수 가스의 주요 공급 업체로서EFC 가스 및 고급 재료혁신적인 개발네온 가스 재활용 시스템이러한 지속 러시안 룰렛 게임 문제를 해결합니다. 이 시스템은 일반적으로 대기로 배출되는 레이저 배기 장치에서 사용한 네온 가스를 포착합니다.
재활용 네온은 또한 생산의 필요성을 상쇄하여향후 20 년 동안 반도체 팹 당 백만 톤 이상의 이산화탄소 배출량 감소24782_25136
EFC는 Excimer 레이저 제조업체 인 Cymer와 긴밀한 협력하여 네온 가스 재활용 시스템을 개발했습니다. Cymer는 최근 EFC 재활용 시스템의 제품이 장비와 완전히 호환되었음을 인증했습니다.
NEON GAS 재활용 시스템 외에도 EFC는 항공 우주 응용 분야에 사용되는 Xenon 및 Krypton과 같은 다른 희귀 가스에 대한 스키드 장착 복구 시스템을 개발했습니다.
EFC의 혁신적인 네온 가스 재활용 시스템 인 네온 가스를 캡처, 재조정 및 재활용하는 솔루션을 제공함으로써 반도체 제조의 주요 환경 문제를 해결하는 데 도움이됩니다. 그것은 네온 생산의 환경 영향을 줄이고, 자원 폐기물을 최소화하며,보다 지속 가능한 미래를 향해 산업을 이끌어냅니다..
